安全評價單位名稱

南昌中微半導體設備有限公司

項目名稱:

中微南昌產業化基地項目（一期）安全預評價報告

簡 介:

南昌中微半導體設備有限公司成立于2017年12月15日，注冊地址：江西省南昌市南昌高新技術產開發區天祥大道699號兆和光電科技園中微生產廠房，注冊資金：2500萬元；法定代表人：GERALD ZHEYAO YIN（美國國籍），為有限責任公司（外商投資企業法人獨資）；經營范圍：集成電路設備、半導體設備、環保設備的研發、技術咨詢、技術服務、生產及銷售；自營或代理各類商品和技術的進出口業務；機械設備租賃。（依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動）。

該公司為國民經濟行業分類的3562“半導體器件專用設備制造”。該公司中微南昌產業化基地項目于2020年9月11日取得南昌高新技術產業開發區管理委員會項目統一代碼為：2020-360198-35-03-037744號的《江西省企業投資項目備案通知書》。

該公司為了市場的發展等原因，該公司決定建設中微南昌產業化基地項目（其中MOCVD150腔、Etch設備100腔、Scrubber尾氣處理裝置300套、PCBA FCT測試設備30套），為該公司一期項目（以下簡稱該項目）。

受南昌中微半導體設備有限公司的委托，江西贛安安全生產科學技術咨詢服務中心成項目安全評價組，于2021年3月到建設單位收集有關資料。對擬建現場進行勘察，對委托方提供的資料進行認真分析，運用安全系統工程原理和評價方法，對《南昌中微半導體設備有限公司中微南昌產業化基地項目》可能出現的危險、有害因素辨識分析和定性、定量評價。在此基礎上，根據《安全評價通則》（AQ8001-2007）和《安全預評價導則》（AQ8002-2007）的要求，編制完成該項目安全預評價報告。

安全評價項目組長:

謝寒梅

技術負責人:

馬 程

過程控制負責人:

王海波

評價報告編制人:

謝寒梅

報告審核人:

檀廷斌

參與評價工作的安全評價師:

王冠、黎余平、占偉、謝寒梅

注冊安全工程師:

馬程、謝寒梅、王冠、占偉

技術專家:

到現場開展安全評價工作的人員名單:

謝寒梅

時間和主要任務:

時間：2021.3；主要任務：安全預評價

評價報告：

項目基本情況

項目名稱：中微南昌產業化基地項目

公司住所：江西省南昌市南昌高新開發區規劃三路以東、光伏規劃三路以北

企業類型：有限責任公司（外商投資企業法人獨資）

項目規模：MOCVD150腔、Etch設備100腔、Scrubber尾氣處理裝置300套、PCBA FCT測試設備 30套

建設性質：新建

項目投資：84456.56萬元人民幣

建設地址：江西省南昌市南昌高新開發區規劃三路以東、光伏規劃三路以北

投資單位：南昌中微半導體設備有限公司

建設單位：南昌中微半導體設備有限公司

法定代表：GERALD ZHEYAO YIN

總占地面積：約130畝

總圖編制單位：信息產業電子第十一設計研究院科技工程股份有限公司

危險、有害因素辨識結果

南昌中微半導體設備有限公司中微南昌產業化基地項目（一期），該項目生產涉及的原輔材料有Etch零部件、C₃F₈（八氟丙烷）、C₄F₈（八氟環丁烷）、N₂O（一氧化二氮）、HE（氦氣）、NO（一氧化氮）、PO₂（液氧）、CL₂（液氯）（劇毒品）、BCL₃（三氯化硼）、CH₃F（氟甲烷）、SiCl₄（四氯化硅）、CHF₃（三氟甲烷）、CH₂F₂（二氟甲烷）、MOCVD零部件Scrubber零部件、PCBA FCT零部件、無鉛錫條、石墨盤、藍寶石襯底、硅片襯底、砷化鎵襯底、磷化銦襯底、200PPMSIH₄/H₂、PN₂（氮氣）、丙烷、硅烷、乙烯、PNH₃（液氨）、PH₂（氫氣）、二氯硅烷、三氯氫硅、乙硅烷、酒精、異丙醇、鹽酸、氨水、雙氧水、磷化氫（劇毒品）、砷化氫（劇毒品）、基片、Scrubber安裝件、CF₄（四氟化碳（四氟甲烷））、SiH₄（四氫化硅）、LNG（天然氣）、SF₆（六氟化硫）、Tangit ABS、Tangit PVC-C、Tangit PVC-U等；涉及的產品為MOCVD、Etch設備、Scrubber尾氣處理裝置、PCBA FCT測試設備。

該項目危險、有害性的分析，結果為：

1、主要危險、有害因素

（1）監控化學品辨識

依據《各類監控化學品名錄》（工信部令第52號）進行辨識，該項目不涉及監控化學品。

（2）易制毒化學品辨識

依據《易制毒化學品管理條例（2015）》（國務院令第445號）及附表規定進行辨識，該項目鹽酸屬于易制毒化學品。

（3）劇毒化學品辨識

《危險化學品目錄[2015年版]》辨識，該項目液氯、磷化氫、砷化氫屬于劇毒化學品。

（4）高毒物品辨識

依據《高毒物品目錄》（衛法監發[2003]142號）進行辨識，該項目液氨液氯、磷化氫屬于高毒物品。

（5）易制爆化學品辨識

根據《易制爆危險化學品目錄》（2017年版）進行辨識，該項目雙氧水（30%）屬于易制爆危險化學品。

（6）重點監管的危險化學品辨識

根據國家安全監管總局《關于公布首批重點監管的危險化學品目錄的通知》（安監總管三[2011]95號）及《關于公布第二批重點監管危險化學品目錄的通知》(安監總管三[2013]12號)的規定，該項目液氨、液氯、天然氣、氫氣、乙烯、磷化氫屬于重點監管的危險化學品。

（7）特別管控危險化學品

根據《特別管控危險化學品目錄（第一版）》應急管理部、工業和信息化部、公安部、交通運輸部公告2020年第1號的內容，該項目液氨、液氯、天然氣、乙醇屬于特別管控危險化學品。

（8）依據《危險化學品重大危險源辨識》（GB18218-2018）的規定，該公司氨氣站儲存單元、硅烷站儲存單元、氫氧站儲存單元、甲類倉庫1儲存單元、甲類倉庫2儲存單元不構成危險化學品重大危險源。

綜合結果：根據以生產工藝、設備設施、原輔物料、實際操作等條件分析，可以確定項目工程中存在有中毒、窒息、灼燙、火災、爆炸、觸電、機械傷害、車輛傷害、起重傷害、高溫灼燙、高處墜落、物體打擊、淹溺、粉塵、噪聲與振動、高溫與輻射等危險、有害因素。其中，中毒、窒息、灼燙、火災、爆炸是本公司主要危險有害因素。

提交時間: 

2022年1月20日